半導體設備與材料領域仍是國產化攻堅重點。近日,昂坤視覺(北京)科技有限公司獲得了國家集成電路產業投資基金二期投資入股。大基金二期對昂坤視覺的投資,標志著其在化合物半導體檢測設備領域的重要落子。此前,昂坤視覺還獲得了中微公司、匯川技術、晶盛機電等知名產業方,金浦投資、招商致遠、海望資本、昌發展、馮源資本、清石資管等知名財務投資人的投資。此次大基金二期入局,將進一步整合上下游資源,推動國產設備生態閉環形成。
昂坤視覺(北京)科技有限公司成立于2017年,注冊資本1,163.122萬(元),由清華系技術領軍人物馬鐵中博士創立(他同時也是EDA企業廣立微的創始人)。公司致力于為化合物半導體光電和集成電路產業提供光學測量和光學檢測設備及解決方案。經過多年自主研發的技術積累,現已具備業界認可的光學系統設計、光學成像技術和機器視覺、機器學習算法研發能力。經過多年的研發和技術積累,該公司具備光學系統設計、機器視覺及AI深度學習算法等研發能力,獲得了國家級專精特新“小巨人”、北京市企業技術中心、ISO9001質量管理體系認證等資質
目前,昂坤視覺提供MOCVD在線監測系統、LED照明和顯示領域檢測設備、化合物半導體襯底和外延檢測設備、集成電路檢測設備等設備。產品已在LED芯片、化合物半導體等領域實現批量出貨。
MOCVD在線監測系統系列產品用于實時監測工藝過程中晶圓的溫度,反射率和翹曲度,并提供可靠的溫度信號用于控溫,適用于各種轉速的MOCVD機臺。
LED照明和顯示領域檢測設備包括晶圓形貌檢測、晶圓襯底缺陷檢測、PSS檢測設備、GaN及GaAs外延片缺陷檢測設備,芯片外觀缺陷檢測等AOI設備,是國內LED生產企業光學測量和檢測方面的主流設備;代表型號:SPI300,E300,F300-PSS,F300-EPI-GN,F300-EPI-GA,F400系列COW/COT/COTD。
化合物半導體襯底和外延檢測設備主要有二代半導體GaAs、InP襯底及外延檢測設備,三代半導體GaN、SiC襯底及外延檢測設備,LT&LN檢測設備,玻璃光片,圖形片檢測設備。具有業界認可的自研光學系統,對標國際知名企業,性能上得到行業認可;代表型號:E200,E300,E500,E1000,E3200,E3500。
集成電路檢測設備主要集中在無圖形襯底缺陷檢測、芯片檢測、CIS芯片和有圖形片檢測領域;代表型號:F550,F2000,H1000,H2000,OV1000等。
昂坤視覺的檢測設備已實現國產替代突破,大基金二期注資將加速其集成電路缺陷檢測設備等高端產品的研發進程。在AI技術驅動下,光學檢測設備需向智能化升級。昂坤視覺通過AI算法優化檢測流程,效率提升30%以上,精度提升20%。這種技術融合能力正是大基金看重的未來增長點。